真空系统组成及各种真空泵的工作原理

sunzhaod · 发表于 2010-2-15 19:51:19

本人在网上搜集了一些真空系统组成原理的相关资料，现编辑成一Word文档，文档中引用了大量图片和详实的文字介绍了真空系统的组成、工作原理和各种真空泵的结构及其原理。本文档对要DIY真空系统和DIY用到真空系统的电子设备（比如扫描电镜）的网友十分有帮助，望网友们喜欢！
文档没有介绍各种真空阀门、真空管道和真空气压计，希望有相关资料的网友分享一下！
看过后觉得好就顶一下，谢谢！

点击此处下载 ourdev_533962.rar(文件大小:1.07M) (原文件名:真空系统组成及各种真空泵的工作原理.rar)

h2feo4 · 发表于 2010-2-15 20:01:33

按个爪印

lollipop · 发表于 2010-2-15 20:54:08

mark

alan8918 · 发表于 2010-2-15 21:01:54

MARK

kecheng · 发表于 2010-2-15 21:48:24

关注中

dland7455 · 发表于 2010-2-16 00:08:44

真的有人准备DIY电镜啊！也提供些我所了解的知识吧。
真空泵分低压泵和高压泵，低压泵是机械泵，有活塞式、旋片式等等，都只能产生“低真空”。
高压真空泵有重油真空泵、电子真空泵、离子真空泵等等，其原理都是用高速“工作质”去撞击空气分子，将空气分子从进气口撞向出气口，然后由机械式低压真空泵抽走。高压真空泵都不能直接工作，需要和机械式低压真空泵级联，一般由低压真空泵抽到一定压力以后才能开机工作。
以重油真空泵来说，重油真空泵是全玻璃的，内部有设计好的气路、油路、储油槽、冷却管，工作的时候就是用电炉子把真空泵油烧开，油滴沿油路运行，并把空气分子撞向出气口，然后被冷却、回流到储油槽。电子真空泵、离子真空泵是用电场加速电子、离子来完成这一工作，但能达到更高的真空度。

我估计（仅代表我自己意见，请参考电镜DIY方案对真空度的要求）DIY电镜可能要最少用到重油式高压真空泵。而且真空度越高对电镜来说，成像质量应该越好，因为空气分子对电子运行的干扰就越小。

dland7455 · 发表于 2010-2-16 00:39:41

记得当年在学校实验室的时候，老师有检测真空系统漏气的仪器（经常会漏气的），长时间抽气而达不到要求的真空度时，老师们就怀疑有漏气了，然后用仪器仔细寻找漏气点，找到以后用真空泥封起来，如果漏气比较严重有可能整个真空系统要重做。

Argee · 发表于 2010-2-16 02:07:06

不错，不知道真空度是怎么标度的。

sunzhaod · 发表于 2010-2-16 08:58:06

关于扩散泵的使用，有一重要的步骤文中没有提及，扩散泵在关闭电源停止使用后仍需通冷却水约10分钟直到泵体冷却
为止。

sunzhaod · 发表于 2010-2-17 16:49:10

几种常见的超高真空系统
点击此处下载 ourdev_534114.rar(文件大小:60K) (原文件名:几种常见的超高真空系统.rar)

JQ_Lin · 发表于 2010-2-17 17:27:43

【9楼】 sunzhaod 查尔斯*SUN
关于扩散泵的使用，有一重要的步骤文中没有提及，扩散泵在关闭电源停止使用后仍需通冷却水约10分钟直到泵体冷却为止。
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扩散泵在关闭电源停止使用后仍需——继续通冷却水——直到泵体冷却到其内没有油蒸汽存在，才可关闭（低真空的）机械泵。
因此，每天总是至少有一人晚离开机房近半个小时。

sunzhaod · 发表于 2010-2-17 17:33:41

回复【11楼】JQ_Lin
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谢谢前辈指导，还有一个问题想问JQ_Lin前辈一下，扫描电镜是不是必须要装液氮冷阱？

JQ_Lin · 发表于 2010-2-17 18:31:09

【12楼】 sunzhaod 查尔斯*SUN
扫描电镜是不是必须要装液氮冷阱？
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　　1.只要严格遵循真空系统的操作规程，达到足够的真空度才可打开扩散泵的翻板阀；扩散泵冷却到其内没有油蒸汽存在，才可关闭机械泵，等等，就可以在很大程度上避免油蒸汽污染电子光学通道和样品室。
　　2.每运行一段时间，总是需要清洗电子光学通道和样品室的；极靴保护套被电子束长时间轰击变黑，也必须清洗处理。那些少许的油蒸汽污染，在这个清洗处理过程中即可解决掉。
　　所以我本人认为，是否安装液氮冷阱，应当由扫描电镜的档次级别来决定。
　　一般情况下，液氮冷阱不是必须的。我们三十多年前的大型的和台式的扫描电镜，都没有使用液氮冷阱。
　　条件允许，装上液氮冷阱，好似豪华装修，当然更好，起码可以降低清洗系统的频度。

TRINAMIC · 发表于 2010-3-8 16:30:43

真空步进电机

ryebread · 发表于 2010-3-10 15:21:19

留个印子

TRINAMIC · 发表于 2010-3-13 22:30:46

在真空中使用电器产品需要注意些什么吗？

sunzhaod · 发表于 2010-3-14 07:16:52

回复【16楼】TRINAMIC 驱动天下
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应该考虑到大功率器件的散热问题，因为真空中散热片和风扇估计都没效果。

csformat · 发表于 2010-3-14 17:07:30

我就知道一点哈

卖弄下啊

如果要级联真空泵

中间要加个罗茨泵哈~~~~

dou_yuyu · 发表于 2014-5-8 00:58:59

谢谢分享。找了好久

yuandong5251 · 发表于 2014-5-8 02:44:40

这个我在行，真空获得要分级，粗真空就负2一3个零，用逻茨泵和旋片泵级联，高真空最好用分子泵，能到负5一6个零，高真空检测用离子规，漏气可用稀有气体检测，原来在南玻搞过真空镀膜，有点高科技学了不少东西

second_chan · 发表于 2015-4-29 15:50:56

谢谢分享。。。

vivi_cq1982 · 发表于 2015-4-30 17:15:42

科普了解下知识，不错。

LVjm · 发表于 2021-3-13 20:34:51

留个印子

zlq2000 · 发表于 2021-3-20 23:25:39

谢谢分享

真空系统组成及各种真空泵的工作原理

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