真空系统组成及各种真空泵的工作原理

sunzhaod · 发表于 2010-2-15 19:51:19

本人在网上搜集了一些真空系统组成原理的相关资料，现编辑成一Word文档，文档中引用了大量图片和详实的文字介绍了真空系统的组成、工作原理和各种真空泵的结构及其原理。本文档对要DIY真空系统和DIY用到真空系统的电子设备（比如扫描电镜）的网友十分有帮助，望网友们喜欢！
文档没有介绍各种真空阀门、真空管道和真空气压计，希望有相关资料的网友分享一下！
看过后觉得好就顶一下，谢谢！

点击此处下载 ourdev_533962.rar(文件大小:1.07M) (原文件名:真空系统组成及各种真空泵的工作原理.rar)

sunzhaod · 发表于 2010-2-16 08:58:06

关于扩散泵的使用，有一重要的步骤文中没有提及，扩散泵在关闭电源停止使用后仍需通冷却水约10分钟直到泵体冷却
为止。

sunzhaod · 发表于 2010-2-17 16:49:10

几种常见的超高真空系统
点击此处下载 ourdev_534114.rar(文件大小:60K) (原文件名:几种常见的超高真空系统.rar)

sunzhaod · 发表于 2010-2-17 17:33:41

回复【11楼】JQ_Lin
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谢谢前辈指导，还有一个问题想问JQ_Lin前辈一下，扫描电镜是不是必须要装液氮冷阱？

sunzhaod · 发表于 2010-3-14 07:16:52

回复【16楼】TRINAMIC 驱动天下
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应该考虑到大功率器件的散热问题，因为真空中散热片和风扇估计都没效果。

真空系统组成及各种真空泵的工作原理

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