有没有大神知道怎么做一个百级无尘工作箱

brother_yan · 发表于 2020-10-14 22:20:00

如题，想做一个百级无尘的工作箱，可以在里面清洗硅片晶圆，硬盘开个盖之类的，有没有人有这方面的经验？大概要多少钱？还有如何检验是否达到了百级无尘？谢谢！

ilawp · 发表于 2020-10-14 22:39:08

这么高端，买不到吗

brother_yan · 发表于 2020-10-14 22:41:32

ilawp 发表于 2020-10-14 22:39
这么高端，买不到吗

完全不了解，没有头绪，先找找资料

whp1920 · 发表于 2020-10-14 23:12:52

一個工作台四周封閉，一面裝帘子进出，顶上装一台FFU,保持正壓。无尘室管理定期拿台仪器测空间内的落尘数量，司空见惯反而没在意什么仪器。

sonna · 发表于 2020-10-14 23:23:13

成品手套箱，加惰性气罐，一共几千块投资吧。

wye11083 · 发表于 2020-10-15 00:32:38

sonna 发表于 2020-10-14 23:23
成品手套箱，加惰性气罐，一共几千块投资吧。

你那不实用，成本太高，保养太费事。必须要有流动空气，因此必须使用3层以上的99.7的hvaf＋3层以上的99的hepa做滤网，大功率风机，保证箱内空气实时流动（考虑从上向下流动，再抽到上面去），工作时持续开机，这样才能达成百级目标。开箱之前可能要费点功夫做好隔离。不过滤网是可以长期使用的，远期成本倒是不高。

debian · 发表于 2020-10-15 01:06:23

先弄个万级无尘房。

Appcat · 发表于 2020-10-15 02:02:57

百级洁净室不便宜，也不好弄。几年前我设计过一个生产线，做传感器的，配套了一个十万级的清洗间，一个万级的抽气间，还有一个千级的封装间，三级串联，用传递窗互通。十万级的好办，半天开一次风机，万级的差不多每隔一个小时就要开风机，千级的风机就不能停。室内采用激光尘埃粒子计数器实时监测。上班时间要换衣服换鞋，带头套口罩手套，要经过风淋房20秒以上狂吹。
清洗晶圆没弄过，但是开盘万级就足够了。

剑舞 · 发表于 2020-10-15 08:33:21

自己搞比买的肯定贵不少

sonna · 发表于 2020-10-15 10:16:36

wye11083 发表于 2020-10-15 00:32
你那不实用，成本太高，保养太费事。必须要有流动空气，因此必须使用3层以上的99.7的hvaf＋3层以上的99的 ...

看楼主的要求应该是百万级，百级我不认为能简单DIY出来。

wye11083 · 发表于 2020-10-15 10:19:03

sonna 发表于 2020-10-15 10:16
看楼主的要求应该是百万级，百级我不认为能简单DIY出来。

照我说的去做，预热5分钟百级杠杠的，只要密封好。

rainbow · 发表于 2020-10-15 10:48:36

debian 发表于 2020-10-15 01:06
先弄个万级无尘房。

我也正想说这个。

newuseruser · 发表于 2020-10-15 10:58:35

买个超净工作台，不贵的。

brother_yan · 发表于 2020-10-15 19:48:34

wye11083 发表于 2020-10-15 00:32
你那不实用，成本太高，保养太费事。必须要有流动空气，因此必须使用3层以上的99.7的hvaf＋3层以上的99的 ...

意思是说上面有风机往下吹，还有一个风机是往上吸气的？

brother_yan · 发表于 2020-10-15 19:55:03

Appcat 发表于 2020-10-15 02:02
百级洁净室不便宜，也不好弄。几年前我设计过一个生产线，做传感器的，配套了一个十万级的清洗间，一个万级 ...

洁净室肯定贵了，我就想要一个百级操作台。我现在的实验室是上面有层流罩24小时往下吹风。开盘和清洗晶圆是我想的应用场景例子，实际我要干的不是这些事，是类似于光胶的事

brother_yan · 发表于 2020-10-15 20:00:56

wye11083 发表于 2020-10-15 10:19
照我说的去做，预热5分钟百级杠杠的，只要密封好。

大神有没有关键部件(如滤芯等)的推荐，或者直接的成品工作台。我以前见过上百平方米的百级室，看起来很复杂，难道百级工作台是很好获得的么，一直有这个疑问。

brother_yan · 发表于 2020-10-15 20:02:40

rainbow 发表于 2020-10-15 10:48
我也正想说这个。

肯定在超净里面做一个百级工作台，但是超净只能达到千级到万级

brother_yan · 发表于 2020-10-15 20:03:10

newuseruser 发表于 2020-10-15 10:58
买个超净工作台，不贵的。

有推荐么

wye11083 · 发表于 2020-10-15 20:56:01

brother_yan 发表于 2020-10-15 20:00
大神有没有关键部件(如滤芯等)的推荐，或者直接的成品工作台。我以前见过上百平方米的百级室，看起来很复 ...

自己弄是比较复杂。。得做滤网架，手套箱，之类。无尘室没有防护服很难保持干净。

brother_yan · 发表于 2020-10-15 22:01:29

wye11083 发表于 2020-10-15 20:56
自己弄是比较复杂。。得做滤网架，手套箱，之类。无尘室没有防护服很难保持干净。 ...

所以我只想弄个百级工作台，应该比一个房间简单多了

whf199191 · 发表于 2020-10-16 10:46:51

类似这种：
https://item.taobao.com/item.htm ... amp;id=569309165356

新的时候实测能到百级。
滤网就是玻纤滤网，不会失效，但时间久了会风量下降。

另外生物用的超净台也可以考虑，也是百级的，而且使用比上面这种方便，就是价格更贵一些，适合需要长期使用的购买。

brother_yan · 发表于 2020-10-16 11:07:07

whf199191 发表于 2020-10-16 10:46
类似这种：
https://item.taobao.com/item.htm?spm=a1z0d.6639537.1997196601.4.4f5574849Ear7h&id=5693091 ...

我也搜到了这个，但是看着这么简陋，又那么便宜，怀疑能不能达到百级

whf199191 · 发表于 2020-10-16 11:10:22

小区域百级很容易的，没那么复杂……

newuseruser · 发表于 2020-10-16 11:15:45

brother_yan 发表于 2020-10-15 20:03
有推荐么

某宝直接搜，单人超净工作台，1千多的应该都没什么问题。

rube · 发表于 2020-10-17 13:37:02

无非是正压、过滤

有没有大神知道怎么做一个百级无尘工作箱

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