寻找“真空压力传感器”，发现不好找啊。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-4 10:52:55

有个客户的需求是，要测真空5pa时的压力值(绝压型)，发现市面上很多压力传感器都是大量程的，要测到那么低压力，很难找到合适的压力传感器。
我对压力传感器不熟悉，坛里有没有接触过的大神，推荐个靠谱的压力传感器型号呗。谢谢了！

makesoft · 发表于 2020-12-4 11:52:13

某宝上查一下负压变送器，其实就是绝压传感器，这东西大路货多了吧。

Phonse · 发表于 2020-12-4 12:14:49

日本SMC、CKD等厂家的。。产品很齐全啊。。真空的话用SMC PSE531 (0~-101kPa) PSE533(+-101kPa)

takashiki · 发表于 2020-12-4 12:39:27

5Pa可不是什么几百千帕几兆帕量程的大路货能搞定的，我们用过几十Pa量程的差压传感器，先说说您能接受的预算范围吧。100RMB 以内我没有见过，1千以上可以找霍尼韦尔的，中间范围的到某宝上搜“微压差传感器”。然后祈祷你买到的好用

lzg1987 · 发表于 2020-12-4 13:40:15

真空规？

xuexikaifa · 发表于 2020-12-4 15:08:38

makesoft 发表于 2020-12-4 11:52
某宝上查一下负压变送器，其实就是绝压传感器，这东西大路货多了吧。

谢谢老大，我要的是绝压传感器，不是负压的，也不是变送器，只要传感器芯体。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-4 15:10:40

Phonse 发表于 2020-12-4 12:14
日本SMC、CKD等厂家的。。产品很齐全啊。。真空的话用SMC PSE531 (0~-101kPa) PSE533(+-101kPa) ...

谢谢老大；推荐个买得到的型号呗，要求能测到绝压 5Pa，精度在1Pa左右即可；在这样的基础上，量程当然希望越宽越好，比如0~100kPa的量程能检测到5Pa当然就更好了。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-4 15:12:21

takashiki 发表于 2020-12-4 12:39
5Pa可不是什么几百千帕几兆帕量程的大路货能搞定的，我们用过几十Pa量程的差压传感器，先说说您能接受的预 ...

猫猫老大，我只要传感器芯体，霍尼韦尔好像是买人家传感器芯体来做变送器的，当然贵啦；
传感器芯体的话，300元以内是可以接受的。

belove · 发表于 2020-12-4 15:38:21

用真空规管吧

gutao007 · 发表于 2020-12-4 15:40:28

采用压力传感器做的真空计一般最低到100Pa，要测5Pa须用电阻真空计了，所以选型就错了。

liwei_jlu · 发表于 2020-12-4 15:46:05

这个要真空规了吧？

xuexikaifa · 发表于 2020-12-4 16:06:50

gutao007 发表于 2020-12-4 15:40
采用压力传感器做的真空计一般最低到100Pa，要测5Pa须用电阻真空计了，所以选型就错了。 ...

还有电阻真空计这东西？？跟压力传感器有什么区别呢？请老大科普一下。

jqfsjt · 发表于 2020-12-4 16:35:15

麦克，天水华天，太多了。搜下扩散硅芯体，但是恒流驱动难搞。

eliterxzgxu · 发表于 2020-12-4 18:58:42

真正的真空变送器，是测100pa以下的。不是用mems压力传感器做的一般基于热耗散法。整机价格很贵，2k起步。因为市场量小，校准困难

Phonse · 发表于 2020-12-4 21:34:10

本帖最后由 Phonse 于 2020-12-4 21:37 编辑

xuexikaifa 发表于 2020-12-4 15:10
谢谢老大；推荐个买得到的型号呗，要求能测到绝压 5Pa，精度在1Pa左右即可；在这样的基础上，量程当然希 ...

上面提到的两个都很好买到啊。。

至于你说多少pa，是你自己在程序中计算调校的问题。。

不过你的这个要求可能有点太高了。。精度在pa的话，这个达不到哈。。这个基本只能在kPa的精度。。

这两个都是可以做到负压测量。。就是绝压传感器。。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-4 22:19:20

Phonse 发表于 2020-12-4 21:34
上面提到的两个都很好买到啊。。

至于你说多少pa，是你自己在程序中计算调校的问题。。

老大； SMC PSE531 (0~-101kPa) 是不可能测量到50pa以下的值的，估计50pa以下直接显示零值了。
您看看手册。

Phonse · 发表于 2020-12-4 22:24:26

xuexikaifa 发表于 2020-12-4 22:19
老大； SMC PSE531 (0~-101kPa) 是不可能测量到50pa以下的值的，估计50pa以下直接显示零值了。
您看看 ...

所以我上面写了，精度只能在kPa啊。。小哥。。

没有注意看到你要求的精度。。sorry..

boceyibiao · 发表于 2020-12-5 08:09:53

5pa,真空测量，还要准确，你指望麦克之流，着这个要求只能是丹纳赫西特730系列，4000以上，国产，如果你精度要求1-2pa误差可以接受，还可以选择下国产，高了，世界上允许卖给中国的就两家，一家就是希特，一家小日本的，。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-5 08:23:12

boceyibiao 发表于 2020-12-5 08:09
5pa,真空测量，还要准确，你指望麦克之流，着这个要求只能是丹纳赫西特730系列，4000以上，国产，如果你精 ...

boceyibiao 大神真专业啊！
请问一下，如果测量5pa时，误差±3pa都能接受，您推荐一两个方便买到的型号。上面提到的“丹纳赫西特730系列” 是变送器来的(不是传感器芯体)，体积太大了，而且价格超贵，接受不了。

boceyibiao · 发表于 2020-12-5 10:26:40

3pa的误差，你随便到麦克，高华，沃天买绝压的传感器就可以，这个精度很低了，好点就买进口的精量，honeywell，或者瑞士keller

xuexikaifa · 发表于 2020-12-5 11:27:48

boceyibiao 发表于 2020-12-5 10:26
3pa的误差，你随便到麦克，高华，沃天买绝压的传感器就可以，这个精度很低了，好点就买进口的精量，honeywe ...

刚找过麦克的高级技术支持！一听到绝压，5pa，马上说绝对测测不了，先不说准不准的问题，是扩散硅传感器可能都没有信号输出了！
跟我说测量原理就不应该选压力传感器，我说对精度没有要求，5pa能有信号输出也行，精度，线性什么都不需要了，还不行么？
技术支持说大概率没有信号输出的。让我不要从这个方向找传感器了。
因此，上面很多大神说谁便找，大路货什么的，那么小的压力下，你们有实战经验么？

whf199191 · 发表于 2020-12-5 11:38:01

这个必然不用考虑一般mems传感器了，得上真空规之类专门测真空的传感器……

xuexikaifa · 发表于 2020-12-5 11:48:12

whf199191 发表于 2020-12-5 11:38
这个必然不用考虑一般mems传感器了，得上真空规之类专门测真空的传感器…… ...

真空规是一个大玻璃的发热管类的东西吧，感觉功耗高不好用。
另外，真空规是测0.01pa级别的吧，我们不需要测到那么低啊。
只需要很粗糙的测到5pa或者10pa就行，很粗糙的就行。

eliterxzgxu · 发表于 2020-12-5 14:30:20

绝压传感器可以测真空，本身绝压传感器就是差压mems芯片一端抽真空键合到特殊玻璃上。我们以前用精量的ms5611做过。自己校准的。校准设备加气路设计，花了有70-80w。校准完是很准的。但是很快就会飘。这跟mems压力芯片长期处于1bar的压力下有关。另外真空超低压，热耗散很慢，容易造成mems芯片和asic芯片温漂加剧。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-5 16:40:39

eliterxzgxu老大，请教您一下，“很快会飘”有个大概概念么？一两天后漂移1Pa,还是漂移10Pa，如果不长时间放在真空环境呢？

gutao007 · 发表于 2020-12-5 17:08:41

xuexikaifa 发表于 2020-12-4 16:06
还有电阻真空计这东西？？跟压力传感器有什么区别呢？请老大科普一下。 ...

从真空计测量范围以最低0.1Pa为界分低真空，高真空。
就所接触的简单介绍下：
采用扩散硅压力传感器的真空计也叫压阻真空计，通常只能测到最低几百Pa。
采用发热丝热传导原理的真空计有热偶真空计，电阻真空计也称皮拉尼计，最低能测0.1Pa。
要测低于0.1Pa的高真空，有电离真空计，冷、热极真空规。
当然还有全能测超然的电容真空计，价格也超贵，一般用于计量校准，少见于工业生产。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-5 18:00:47

gutao007 发表于 2020-12-5 17:08
从真空计测量范围以最低0.1Pa为界分低真空，高真空。
就所接触的简单介绍下：
采用扩散硅压力传感器的真 ...

老大，您简要的总结胜似我看N多百度科普文章啊，看来您这方面是行家啊，膜拜一下。。。。
请教您，我要体积小，功耗低的，最好十几毫安供电就能工作的，最低压力只需测到10Pa就行，过一两个星期漂移了10Pa也无所谓的，这样我应该选择哪一款传感器啊？

gutao007 · 发表于 2020-12-5 20:11:30

xuexikaifa 发表于 2020-12-5 18:00
老大，您简要的总结胜似我看N多百度科普文章啊，看来您这方面是行家啊，膜拜一下。。。。
请教您，我要体 ...

真空计选择影响因素很多，首先测试基本要求干净无粉尘，如果测试环境有易燃易爆气体或热蒸汽，那么热传导、电离计和冷热规都不适用。
满足上诉要求，根据你需要合适的就是热偶计和电阻计。这两种如果只是规管，国产也就几百，但是你没有做过真空计估计用不了，毕竟行业经验和校准环境你都不具备。
那就只有选用整机或变送器，但这满足不了你低功耗要求，具体推荐一家老军工企业“成都国光电气”，你可以上官网了解下。

wwkkww · 发表于 2020-12-5 20:14:27

Druck绝压的传感器，带温补的，进口的有点贵

eliterxzgxu · 发表于 2020-12-5 21:56:22

xuexikaifa 发表于 2020-12-5 16:40
eliterxzgxu老大，请教您一下，“很快会飘”有个大概概念么？一两天后漂移1Pa,还是漂移10Pa，如果不长时间 ...

校准完立马测试，很准。恢复到常压，过两天测试，同样降到之前测试的点，就飘了10-20个pa

xuexikaifa · 发表于 2020-12-5 22:04:11

两天就漂20个pa啊，看来没得玩了。。哇。。。。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-5 22:07:16

gutao007 发表于 2020-12-5 20:11
真空计选择影响因素很多，首先测试基本要求干净无粉尘，如果测试环境有易燃易爆气体或热蒸汽，那么热传导 ...

谢谢老大耐心指导。。。我去联系看看。

tomzbj · 发表于 2020-12-5 23:07:06

5pa。。。基本得用电阻规+热离子规组合，后者不能在常压下启动，得先抽到一定压力以下才能上电。挺麻烦的。。。

xuexikaifa · 发表于 2020-12-8 20:53:22

tomzbj 发表于 2020-12-5 23:07
5pa。。。基本得用电阻规+热离子规组合，后者不能在常压下启动，得先抽到一定压力以下才能上电。挺麻烦的 ...

请问老大，有没有体积很小的皮拉尼传感器？

tomzbj · 发表于 2020-12-8 23:03:04

xuexikaifa 发表于 2020-12-8 20:53
请问老大，有没有体积很小的皮拉尼传感器？

随便搜了一下, 有个MTCS2601, 你再找找, 说不定还有差不多的.

xuexikaifa · 发表于 2020-12-8 23:58:20

感谢tomzbj老大指导。MTCS2601很不错，但是根本买不到啊，您再帮我推荐个能买得到的吧。谢谢您了！

whf199191 · 发表于 2020-12-15 14:18:23

xuexikaifa 发表于 2020-12-5 11:48
真空规是一个大玻璃的发热管类的东西吧，感觉功耗高不好用。
另外，真空规是测0.01pa级别的吧，我们不 ...

确实，后面发现还有mems的皮拉尼真空传感器，就是测你需要的量级的真空的，也是学到了……

desireyao · 发表于 2020-12-16 09:45:40

xuexikaifa 发表于 2020-12-8 23:58
感谢tomzbj老大指导。MTCS2601很不错，但是根本买不到啊，您再帮我推荐个能买得到的吧。谢谢您了！ ...

有个朋友是这个做压力传感器行业的，要不给你介绍一下，你们沟通一下

寻找“真空压力传感器”，发现不好找啊。

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